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STPA2203C Edwards磁悬浮涡轮分子泵是为半导体应用而设计的涡轮分子泵STPA2203C Edwards磁悬浮涡轮分子泵它使用的转子,可实现的性能,大的制程灵活性。全新的半机架控制器能够节省更多空间,且采用直流驱动,无需电池即可运行。STPA2203C 已经由半导体和磁介质行业的大型刻蚀、离子注入和沉积设备制造商投入使用,并得到了。
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(Boc Edwards)是英国老牌真空设备供应商,是全 qiu zui大的真空设备供应商,用于半导体、平板显示器、LED和太阳能电池制造, 及工业、制药、化工、加工、玻璃镀膜、食品包装等行业。并且收购了日本精工后Edwards更是进一步确定了自己在IC Fab,TFT,OLED及Harddisk等生产领域的地位等分子泵。
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Edwards STP-iXA2205C爱德华磁悬浮分子泵适用于:电子显微镜、表面分析仪、质谱仪、离子注入、干刻、分子束外延、加su器、原子聚变实验。
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